光微機械電子學

本書是先進光學技術叢書之9。書中以光學技術為主干，全面闡述了信息技術中所必需的光學、力學、精密機械、電子學等領域的基礎知識及其相互融合產生的光微機械電子學技術。

書中主要闡述光微機械電子學的由來、技術組成，信息設備中的光束強弱控制，光束位置間斷與連續跟蹤控制、速度控制技術，光微機械電子學中的基礎光學、基礎力學等內容。

書中列舉了大量光微機械電子學的卓越技術成就，涉及到微領域內容諸多的測量傳感、驅動控制、系統制造等。
本書可供從事測量技術與儀器、微機技術、納米技術研究的大學生、研究生及科技工作者閱讀參考。